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解析事例一覧

化学蒸着反応(CVD)の解析>膜厚分布
動画

蒸着面上のSiの膜厚分布を示しています。

化学蒸着反応(CVD)の解析>蒸着速度分布
動画

蒸着面上のSiの蒸着速度分布を示しています。