化学蒸着反応（CVD）の解析＞蒸着速度分布

流体解析ソフトウェア Advance/FrontFlow/redによる、蒸着面上のSiの蒸着速度分布の解析結果を示しています。

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流体解析ソフトウェア
Advance/FrontFlow/red
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